Fazendo RAM em casa [vídeo]
(youtube.com)- Fabricação de uma célula de DRAM com equipamento doméstico e um processo montado manualmente, confirmando o funcionamento da estrutura básica de RAM que combina transistor e capacitor
- Execução etapa por etapa do processo de semicondutores, incluindo corte da pastilha de silício, formação da camada de óxido, fotolitografia, corrosão a seco, dopagem com fósforo, crescimento do óxido de porta, corte de contato e deposição de alumínio
- Nas medições do dispositivo final, foram confirmadas a característica de chaveamento em que a corrente varia conforme a tensão de porta e uma capacitância máxima de 12,3 pF
- Na operação de uma célula DRAM individual, o capacitor de armazenamento foi carregado até 3 V em algumas centenas de nanossegundos, e a carga foi mantida por pouco mais de 2 ms antes de precisar ser recarregada
- Embora não alcance o tempo de retenção superior a 64 ms de DRAMs comerciais e também revele limites de miniaturização como punch through, o trabalho estabelece um ponto de partida para a expansão para pequenos arranjos de RAM feitos em casa
Estrutura da DRAM e objetivo de fabricação
- A célula de DRAM tem uma estrutura em que um transistor e um capacitor de armazenamento de carga são colocados em cada interseção de um arranjo formado por linhas e colunas
- O transistor atua como uma chave
- O capacitor armazena carga como se fosse uma bateria, guardando 1 bit de informação
- Ao ligar o transistor, o capacitor é carregado; ao ligá-lo novamente para leitura, a carga pode fluir no sentido inverso e ser detectada
- Como a carga do capacitor se perde durante a leitura, é necessário refresh periódico
- O alvo de fabricação é uma estrutura pequena baseada em um layout de arranjo 5x4 que poderá ser conectada em sequência depois
- Um transistor e um capacitor são colocados em cada interseção
- O objetivo final é um comprimento de porta do transistor ligeiramente menor que 1 micrômetro
- No projeto, cada cor representa uma camada diferente, e o dispositivo é formado por um processo de empilhamento em sanduíche no qual as camadas são adicionadas uma a uma
Processo inicial: preparação do silício e dopagem
- Uma pastilha de silício é usada como material de partida e cortada em pequenos chips com um riscador de diamante
- Aproveita-se a propriedade do silício de se partir bem ao longo de certos planos cristalinos
- Após o corte, foi feita uma limpeza com acetona e isopropanol para remover contaminantes da superfície
- O objetivo é remover partículas e dissolver materiais orgânicos
- Como a etapa seguinte transforma a superfície de silício em vidro, não era necessária uma limpeza perfeitamente completa nesse ponto
- Os chips foram colocados em um forno e aquecidos a 1.100°C, formando uma camada de óxido de 3.300 angströms na superfície
- Isso faz crescer uma camada vítrea por oxidação do silício
- Esse óxido depois atua como máscara e camada de proteção
- Sobre a superfície com a camada vítrea formada, foi aplicada primeiro uma liftoff resist, usada como camada de adesão
- Embora seja originalmente um material para lift-off de metal, também funciona bem como camada de adesão
- Foi feito bake a 170°C por 5 minutos
- Em seguida, foi feito spin coating de fotoresiste, com bake a 100°C por 2 minutos
- Formou-se um filme fino uniforme com espessura um pouco maior que 1 micrômetro
- O primeiro nível de padrão foi criado com UV e máscara
- A luz que passa pelas aberturas da máscara expõe o fotoresiste
- As áreas expostas são removidas no revelador, formando o padrão
- Um sistema stepper microscópico projeta o padrão em escala reduzida, e um software próprio controla foco e exposição
- Equipamento robótico foi usado para obter uma revelação mais uniforme
- Foi feita corrosão a seco usando o fotoresiste padronizado como máscara
- A camada vítrea foi removida seletivamente para expor a superfície do silício
- Após a corrosão, o fotoresiste foi removido com DMSO aquecido
- Como resultado, formou-se uma estrutura com janelas abertas no óxido de 3.300 angströms
- Essas janelas no óxido foram usadas para formar a fonte e o dreno do transistor
- Fonte e dreno funcionam como terminais de entrada e saída da chave
- A porta será formada depois na região central
- Foi introduzido fósforo no silício para aumentar a condutividade dessas regiões
- Na indústria também se usa implantação iônica, mas isso não foi aplicado por custo e porte do equipamento
- Em vez de um produto comercial, foi usado um phosphorus doped spin-on glass feito manualmente
- Em uma amostra de teste, antes do tratamento era difícil confirmar continuidade com um multímetro
- Depois do tratamento, foi confirmada uma condutividade muito alta
- O resultado ficou próximo de um nível de dopagem muito elevado
- A mesma solução foi revestida neste chip e passou por bake com aumento gradual de temperatura
- O objetivo era remover solventes e evitar trincas e tensões
- Durante a síntese, surgiram algumas poucas precipitações vítreas
- Foi mencionado que eram em grande parte um fenômeno visual e sem grande impacto
- Também foi dito que, na próxima vez, seria mais adequado removê-las por filtração
- Foi criado um calculador para prever a profundidade de dopagem e modelar o perfil de dopagem
- O objetivo era obter um perfil mais raso
- Para isso, foi feito annealing a 1.100°C por 5 minutos e depois remoção do spin-on glass com HF
- Em seguida, foi realizado um drive-in anneal a 1.000°C por 10 minutos
Processo intermediário: óxido de porta e contatos
- Após formar fonte e dreno, foi realizado o processo da região de porta do transistor e da região do capacitor
- Como a camada vítrea permanecia, liftoff resist e fotoresiste foram aplicados novamente em sequência
- A região do canal foi formada alinhada entre a fonte e o dreno já existentes
- Ao mesmo tempo, a região do capacitor de armazenamento de carga acima do transistor também foi alinhada e exposta
- Após a revelação, foi usado HF para remover o óxido intermediário entre fonte e dreno e também o óxido adjacente ao capacitor
- O óxido nessas posições era espesso demais, então eram necessários um óxido de porta e um óxido do capacitor com espessura adequada
- Foi feito um piranha clean para a limpeza da região do canal, a etapa mais importante
- É uma limpeza que remove com força materiais orgânicos da superfície e a maior parte dos metais
- O chip voltou ao forno para o crescimento do óxido de porta e do óxido do capacitor
- Buscava-se um óxido fino para maior capacitância e melhor controle da porta
- Um processo de 38 minutos a 950°C formou um óxido de 200 angströms, ou 20 nanômetros
- Fora do dispositivo, um óxido mais espesso foi mantido
- Depois disso, foi realizado o processo de corte de contato, que abre seletivamente o óxido para conexões elétricas
- LOR e fotoresiste foram aplicados e submetidos a bake
- A máscara de corte de contato foi alinhada e exposta, formando pequenas aberturas
- O HF removeu a camada vítrea sobre a superfície do silício através dessas aberturas, criando os caminhos de conexão elétrica
Processo final: deposição de metal e conclusão do dispositivo
- No nível final, foi feita deposição de metal para criar a porta do transistor, os contatos elétricos e o eletrodo do capacitor
- Novamente foram aplicados LOR e fotoresiste com bake, seguidos do alinhamento e da exposição da máscara final
- Enquanto os processos anteriores eram focados em remover material, esta etapa usa as aberturas no fotoresiste como um estêncil
- O princípio é parecido com o de um estêncil de tinta, formando material apenas nas posições necessárias
- O metal usado foi alumínio
- Em um sistema de sputtering, o argônio atinge o alvo metálico e deposita átomos de metal sobre a superfície da amostra
- O revestimento ficou uniforme, exceto em algumas áreas perto da borda da amostra onde havia fita
- Em seguida, o fotoresiste foi removido com DMSO aquecido para fazer o lift-off
- O metal se dobra e se desprende, restando apenas o padrão desejado
- A observação em microscópio confirmou a estrutura completa do arranjo de DRAM, incluindo transistor, capacitor e interconexões
- A estrutura em corte também corresponde ao conceito inicial
- O transistor controla o fluxo de corrente e carrega o capacitor de armazenamento, permitindo guardar um bit de dado
Resultados das medições e limitações
- As características elétricas foram avaliadas com equipamento de teste interno e um analisador de parâmetros semicondutores
- Como se trata de um dispositivo em nanoescala, foram usados micromanipuladores com pontas de prova finas em vez de fios comuns
- Na medição do transistor, foram observadas curvas de corrente diferentes conforme a tensão de porta
- Foi confirmada a característica de chaveamento, com quase nenhuma corrente em alguns casos e correntes maiores em outros, dependendo da tensão de porta
- Para uso como RAM, o funcionamento básico liga/desliga já é suficiente
- No entanto, ao contrário de um transistor comum, não apareceu saturação de corrente, e a corrente continuou aumentando em tensões mais altas
- Ocorreu punch through, um tipo de short channel effect
- Como a distância entre fonte e dreno era menor que 1 micrômetro, o aumento da tensão praticamente conecta as duas regiões
- Isso leva ao aumento de corrente e à perda de controle pela porta
- Em tensões baixas o dispositivo ainda funciona, mas isso também expõe a dificuldade da miniaturização
- O capacitor foi medido com um CV plotter
- A capacitância foi medida enquanto a tensão era variada
- A capacitância máxima registrada foi de 12,3 pF
- Um valor próximo do ideal teórico projetado, na faixa de pouco mais de 10 pF
- Quando operado em conjunto como célula de DRAM individual, o transistor carregou o capacitor de armazenamento até 3 V em algumas centenas de nanossegundos
- Depois disso, a tensão caiu gradualmente com o tempo
- A carga foi mantida por apenas pouco mais de 2 ms
- Depois desse ponto, foi necessário recarregar
- DRAMs comerciais conseguem manter a carga por mais de 64 ms
- Este projeto exige refresh em frequência mais alta
- Foi afirmado que esta é a primeira vez que se faz RAM em casa
- No momento, trata-se de uma etapa de comprovação de funcionamento com apenas algumas células
- Ainda não é um nível capaz de rodar Doom em um PC
- O próximo passo é conectar as células para expandir para um arranjo maior
- Depois disso, há planos de conectá-lo a um PC
4 comentários
O preço da RAM subiu tanto que agora vou ter que fabricar em casa para usar ^^
Comentários do Hacker News
Parece que os comentários estão fazendo trocadilhos com lamb. D-RAM de criação livre, fazenda de ovelhas, alimentação com pasto, carne fresca etc....
kkkkkkk, que pessoal divertido